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Komponenten | 08 MĂ€rz 2012

bubbles & beyond kooperiert mit Fraunhofer CNT

bubbles & beyond, ein auf maßgeschneiderte intelligente FlĂŒssigkeiten (intelligent fluids) spezialisiertes Technologieunternehmen, und das Fraunhofer CNT, Dresden, haben heute ihre Zusammenarbeit zur Entwicklung neuer Reinigungsverfahren im Bereich Mikroelektronik bekannt gegeben.
Im Rahmen der zweijĂ€hrigen Kooperation werden bubbles & beyond und das Fraunhofer Center Nanoelektronische Technologien neuartige Entschichtungsprodukte fĂŒr Halbleiteranwendungen entwickeln. Ziel ist es, eine leistungsfĂ€higere, kostengĂŒnstigere und vor allem umweltfreundlichere Alternative zur herkömmlichen und zumeist aggressiven chemischen OberflĂ€chenbehandlung zu schaffen. Grundlage fĂŒr die neue Reinigungsmethode ist die geschĂŒtzte Phasenfluid-Technologie (intelligent fluids) von bubbles & beyond, die bereits bei anderen Mikroelektronik-Anwendungen erfolgreich eingesetzt wird. Fraunhofer CNT bringt die erforderliche Halbleiterexpertise, die entsprechenden Forschungskenntnisse sowie umfangreiche hochprĂ€zise Messanalytik in das Projekt ein. Schwerpunkt der Zusammenarbeit wird die Untersuchung und Optimierung der Wirkung maßgeschneiderter Reinigungssysteme sein. ZusĂ€tzlich erfolgt eine Analyse von halbleiterspezifischen Kriterien, z.B. kritischen Materialien, ProzessstabilitĂ€t und Kontaminationsrisiken. Auf Grundlage dieser Erkenntnisse wird zunĂ€chst die Eignung der neuen Technologie zur Entfernung von Lithographielacken untersucht und spĂ€ter auf weitere Prozessschritte ausgedehnt. “Die Kooperation mit dem Fraunhofer Center Nanoelektronische Technologien ist fĂŒr uns ein wichtiger Schritt zum Ausbau unserer MarktprĂ€senz im Bereich Mikroelektronik”, sagt Christian Römlein, GeschĂ€ftsfĂŒhrer von bubbles & beyond. „Das CNT verfĂŒgt ĂŒber einzigartige Expertise mit Halbleiteranwendungen und bringt unverzichtbares Know-how in die Zusammenarbeit ein. Der Bedarf nach effizienter, schneller und umweltfreundlicher OberflĂ€chenbehandlung von Halbleitern ist so groß, dass bereits in dieser frĂŒhen Kooperationsphase namhafte Industrieunternehmen ihr Interesse bekundet haben.” “Innovative Ideen zusammen mit Industriepartnern in praxistaugliche Technologien fĂŒr die Mikroelektronik umzusetzen ist eine unserer Missionen“, ergĂ€nzt Matthias Rudolph, Projektleiter am Fraunhofer CNT. „bubbles&beyond ist mit seiner anwendungserprobten Plattform an phasenfluidbasierten Reinigungssubstanzen ein idealer Partner fĂŒr die gemeinsame Entwicklung von effektiveren und umweltfreundlicheren Reinigungsprozessen im Bereich der Halbleiterindustrie. Wir freuen uns auf die Zusammenarbeit mit dem jungen Leipziger Unternehmen und erwarten neuartige Lösungen fĂŒr vielfĂ€ltige Anwendungsbereiche.“
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