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Fertigungsanlagen | 09 Juli 2008

SÜSS MicroTec liefert Belackungs- und Entwicklungssystem an Replisaurus Technologies

SÜSS MicroTec installierte einen Gamma Spin Coaters bei Replisaurus Technologies, dem Hersteller eines neuartigen Metallisierungsprozesses namens ECPR (Electro Chemical Pattern Replication).

Mit ECPR hat Replisaurus eine preisgünstige, hochintegrierte Galvanik-Technologie-Lösung auf den Markt gebracht, die den Produktionsaufwand im Vergleich zu herkömmlichen Prozessen erheblich rationalisiert. Der modulare Gamma-Cluster von SÜSS MicroTec basiert auf einer ausgefeilten Technologieplattform und wird vor allem in der Großserien-Produktion eingesetzt, wo es sich durch hohe Produktivität und niedrige Betriebskosten auszeichnet. Gamma-Systeme liefern gleichmäßige Beschichtungen für unterschiedlichste Anwendungen mit dünnen und dicken Fotolacken, BCB, Dielektrika oder Strukturen mit hohen Topografien. Replisaurus wird das Gamma-System vor allem für Anwendungen im Zusammenhang mit seinem patentierten ECPRÔ Prozess einsetzen, einer neuen produktionskompatiblen und umweltverträglichen Metallisierungstechnologie. ECPR(TM) Technologie definiert den effektiven Kosten- und Zeitaufwand zur Herstellung von Mikro-und Nano-Metall-Schichten neu und erreicht hohe Abscheideraten beim Galvanisieren mit einer revolutionären Genauigkeit. Einsatzgebiete von ECPRÔ sind vor allem wachstumsstarke Schlüsselmärkte wie integrierte passive Bauelemente, Copper Pillars und 3D-Integration. "Replisaurus hat sich für die herausragende Belackungs- und Entwickler-Technologie von SÜSS MicroTec entschieden, da SÜSS hier der Marktführer ist. Das Gamma-System von SÜSS erzeugt zuverlässig und stabil gleichmäßige Lackschichten auch mit schwierigsten Materialien und erfüllt damit unsere hohen Produktionsanforderungen“, sagte James Quinn, CEO von Replisaurus Technologies. “Wir schätzen Replisaurus als äußerst kompetenten Anbieter von Produktionsprozessen für den Advanced Packaging und 3D-Integration Markt", erklärte Rolf Wolf, Geschäftsführer der SUSS MicroTec Lithography GmbH. “Wir sind stolz darauf, dass unser Gamma-System für die Entwicklung dieser zukunftsweisenden Technologie eingesetzt wird.”
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