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© Moov Technologies Elektronikproduktion | 19 Februar 2020

Experte fordert höhere Wiederverwendung bei der Halbleiterherstellung

Wiederverwendung - das ist der Schlüssel zur Förderung der ökologischen Nachhaltigkeit in der globalen Halbleiterfertigung. Das jedenfalls sagt Steven Zhou, CEO von Moov Technologies.

Die Herstellung von integrierten Schaltkreisen ist ein ressourcenintensives Unterfangen, das enorme Mengen an Energie, Wasser, Chemikalien und Gasen sowie Edelmetallen verbraucht. Die weltweit führenden Halbleitergießereien und Halbleiterhersteller haben aggressive Ziele für Recyclinginitiativen veröffentlicht. Laut David Wang, CEO von ACM Research, sollen im Jahr 2020 90 bis 95 Prozent der festen Abfälle und fast keine gefährlichen chemischen Abfälle auf Deponien entsorgt werden. Angesichts dieser ehrgeizigen Ziele für eine umweltfreundlichere Halbleiterfertigung bleibt die Frage: Wie werden die Foundries und Hersteller diese Ziele erreichen? Für die Halbleiterherstellungsindustrie bietet sich die Möglichkeit, durch Verbesserungen positive globale Auswirkungen zu erzielen, sagt Zhou. Einige Hersteller konzentrieren sich auf die Reduzierung von Abfall und gefährlichen Nebenprodukten der Halbleiterherstellung durch die Verbesserung von Prozessschritten. So kündigte Picosun vor kurzem verbesserte CVD-Beschichtungsverfahren (Chemical Vapor Deposition) an, um die GLG-Emissionen zu reduzieren, die bei der Reinigung von Abscheidungskammern entstehen. Beim Recycling würden aber weitere technologische Fortschritte benötigt. Forschern der Stanford University hätten diese beispielsweise bei der Herstellung abbaubarer Halbleiter erzielt. Inzwischen hat die Industrie mutige Schritte in Richtung Wiederverwendung unternommen. TSMC gehe mit gutem Beispiel voran, indem die Hersteller in ihrem CSR-Bericht für spezifische und konkrete Recyclingziele zur Rechenschaft gezogen werden, so Zhou. So hat TSMC beispielsweise ehrgeizige Ziele für 2018 festgelegt: Recyclingquote (>95 Prozent), Prozentsatz des auf Deponien entsorgten Abfalls (<1 Prozent), interne Wiederverwendungsrate von Ressourcen (>30 Prozent). Nikon, ein früher OEM, der den Rückkauf eingeführt hat, um die Wiederverwendung von Lithographiegeräten zu fördern, startete sein Wiederverwendungsprogramm im Jahr 2000. Laut Nikon führte das Programm bis März 2018 zu einer Reduzierung von 3.600 Tonnen Material, das sonst entsorgt worden wäre. Nikons Bemühungen seien lobenswert, könnten aber durch die weltweite, OEM-übergreifende Wiederverwendung aller Kategorien von Fertigungsgeräten exponentiell ausgeweitet werden, glaubt Zhou. In etwa 12 Monaten führten Transaktionen auf dem Moov-Marktplatz zu einer Abfallreduzierung durch Wiederverwendung, die ~10 Prozent dessen entspricht, was Nikon in 18 Jahren erreicht hat.
Steven Zhou - Moov Technologies.
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2020.06.09 11:27 V18.6.11-1