AIXTRON forscht an energieeffizienter SiC-Produktion
AIXTRON SE, das Fraunhofer IISB und die bimanu Cloud Solutions GmbH haben ein gemeinsames Forschungsprojekt ins Leben gerufen, um die Energieeffizienz in der Produktion von Siliziumkarbid (SiC) zu verbessern. Das vom Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) geförderte Projekt „Steigerung der Energieeffizienz bei der SiC-Epitaxie“ wird von AIXTRON geleitet und hat ein Budget von 28,4 Millionen Euro.
Ziel des Projekts ist es, die Ressourceneffizienz bei der Herstellung von SiC-Halbleiterschichten zu erhöhen, insbesondere durch die Reduktion von Wasser- und Energieverbrauch sowie Abfall. Mithilfe von KI-basierten Methoden sollen die Produktionsprozesse und Produkte energieeffizienter gestaltet werden. Ein Hauptziel ist es, die benötigte elektrische Energie pro Fläche bei der Herstellung von SiC-Halbleitern um die Hälfte zu senken.
Prof. Dr. Michael Heuken, VP für Advanced Technologies bei AIXTRON, erklärte, dass SiC-Halbleiter eine höhere Energieeffizienz als herkömmliche Silizium-Halbleiter bieten, aber die Produktion energieintensiv ist. Daher sei die Verbesserung der Herstellungsprozesse entscheidend für die grüne Transformation und die Verbreitung dieser Technologien.
Das Fraunhofer IISB bringt seine Expertise in der SiC-Technologie und Prozessentwicklung ein, während bimanu Cloud Solutions auf Datenintegration und Prozessoptimierung spezialisiert ist. AIXTRON wird sich auf die Weiterentwicklung der Anlagentechnologie konzentrieren, um die Effizienz der Produktionsanlagen zu steigern.
