Imec und Tokyo Electron intensivieren Zusammenarbeit für 2-nm-Technologien
Imec und Tokyo Electron (TEL) haben ihre strategische Partnerschaft verlängert, um die Entwicklung von Halbleitertechnologien jenseits des 2-nm-Knotens zu beschleunigen. Die neue fünfjährige Vereinbarung konzentriert sich auf Schlüsselbereiche wie High-NA EUV-Lithografie, fortschrittliche Logik- und Speicherprozesse sowie 3D-Integration. imec-int.com+12
Seit 1995 arbeiten Imec und TEL gemeinsam an Durchbrüchen in der Halbleiterfertigung, darunter die Entwicklung von EUV-Resistbeschichtungstechnologien mit verbesserter Defektkontrolle. Die erweiterte Zusammenarbeit zielt darauf ab, neue Werkzeuge und Prozesslösungen zu entwickeln, um die nächste Generation der Halbleitertechnologie zu unterstützen.
Ein Schwerpunkt der Partnerschaft liegt auf der Entwicklung von High-NA-Lithografietechnologien, um die Leistung durch optimierte Materialsystme und verbesserte Defektkontrolle zu steigern. Zudem werden fortschrittliche Abscheide- und Ätzlösungen für CFET-Bauelemente entwickelt. Die Vereinbarung unterstreicht auch das gemeinsame Engagement für Nachhaltigkeit, indem umweltfreundliche Fertigungsprozesse für zukünftige Halbleiterknoten erforscht werden.
Luc Van den hove, CEO von Imec, betonte, dass diese erweiterte Zusammenarbeit ein weiteres starkes Beispiel für Imecs Engagement ist, internationale F&E-Partnerschaften aufzubauen, die dem gesamten Halbleiter-Ökosystem zugutekommen. Durch die Vertiefung der Zusammenarbeit mit TEL können wertvolle Erkenntnisse gewonnen werden, die andere Schlüsselinitiativen wie die NanoIC-Pilotlinie im Rahmen des Europäischen Chips-Gesetzes stärken.
Toshiki Kawai, Präsident und CEO von Tokyo Electron, fügte hinzu, dass die Vereinbarung das Engagement des Unternehmens verstärkt, an der Spitze der Innovation zu bleiben und die Entwicklung von Technologien für fortschrittliche Knoten zu beschleunigen. Durch die Nutzung von Imecs Expertise in Prozessoptimierung und Nachhaltigkeit ist TEL zuversichtlich, Lösungen zu liefern, die den Leistungs- und Umweltanforderungen seiner globalen Kundenbasis gerecht werden.
