Oulu forscht mit Aixtron Maschinen

Das Labor für Mikroelektronik und Materialwissenschaften an der finnischen Universität Oulu hat eine 1x2-Zoll Black Magic-Anlage zur Abscheidung von Kohlenstoffnanoröhren (CNT) erworben. Ein Serviceteam von AixtronN Europa hat die neue Anlage im Reinraum der Universität installiert und in Betrieb genommen. Die Black Magic soll zur Niedertemperatursynthese sowie template-gestützten Herstellung geordneter Nanoröhren und -drähte eingesetzt werden. Endanwendungen werden integrierte CNT-Bauelemente für die Elektronik, mechanische Komponenten in Sensoren, Aktoren sowie Gerüststrukturen für katalytische Membranen sein. „Mit der Black Magic setzen wir neue Maßstäbe in unserer Forschungsarbeit", so ein Sprecher der Universität. Ermöglicht werde dies durch die hohe Prozessflexibilität und Vielseitigkeit der Anlage. „Aixtron verfügt weltweit über eine große Kundenbasis und fundierte CVD-Prozesserfahrung im Bereich CNT." Die Anlage werde darüber hinaus zur Ausbildung der Doktoranden eingesetzt. „Hierfür benötigen wir ein zuverlässiges, leicht zu bedienendes System, das reproduzierbare Ergebnisse verschiedener Nanoröhren-Typen für unterschiedlichste Anwendungen liefert – von der Aixtron Anlage wissen wir, dass sie diese Anforderungen erfüllt", so der Universitätssprecher. Die Universität von Oulu, eine der größten Universitäten Finnlands, befasst sich mit multidisziplinärer Grundlagenforschung und akademischer Ausbildung. Das Labor für Mikroelektronik und Materialwissenschaften gilt als international anerkanntes Innovationszentrum, das sich vor allem durch die Erforschung von Materialien, Bauteilen und Herstellungstechnologien in der Mikro- und Nano-Technologie einen Namen gemacht hat. Ziel aller Aktivitäten ist es, dem steigenden Bedarf nach leistungsfähigeren Bauteilen für die Elektronik, Photonik und Telekommunikation nachzukommen.