Erstes EUV-Licht markiert wichtigen Meilenstein für Intel
Intels erster europäischer EUV-Scanner für große Stückzahlen hat vergangene Woche zum ersten Mal Licht mit einer Wellenlänge von 13,5 Nanometern erzeugt. Der EUV-Scanner befindet sich in der irischen Fab 34.
Anfang dieses Jahres hatte Fab 34 in Irland sein erstes EUV-Lithografiesystem erhalten, das eine wichtige Voraussetzung für die Intel-4-Prozess-Technologie ist. Das von ASML hergestellte System sei wahrscheinlich eine der kompliziertesten Maschinen, die von Menschenhand gebaut wurde, heißt es in einer Mitteilung..
Seit der Ankunft haben die Teams vor Ort die Installierungsphase durchlaufen und jetzt den Moment erreicht, dass der EUV-Scanner zum ersten Mal in Irland sein Licht mit einer Wellenlänge von 13,5 Nanometern erzeugt.
„Dies ist ein wichtiger Meilenstein auf dem Weg zur Großserienproduktion der Intel-4-Technologie und das erste Mal, dass ein EUV-Scanner in Europa in großem Umfang eingesetzt wird", schreibt Intel in einer Mitteilung.
Das EUV-System in seiner Gesamtheit besteht aus 100.000 Teilen, 3.000 Kabeln, 40.000 Schrauben und mehr als 1,5 Kilometer an Schläuchen. Alles in allem waren 18 Monate Planungs- und Bauarbeiten erforderlich, um das Gebäude Fab 34 für die Aufnahme der Maschine vorzubereiten.
„Nach der Ankunft in Leixlip war die Reise bis zum ersten Licht ein unglaublich komplexer Prozess, der von der komplizierten Abstimmung mehrerer Faktoren abhing. Vom Bau des Scanners selbst bis hin zur Qualifizierung der Anlagensysteme und dem Anschluss an die Versorgungsnetze war eine enorme, gemeinsame Teamleistung erforderlich, um diesen Punkt zu erreichen", schreibt das Unternehmen.
