Bosch-Forscher von der EU-Kommission als Europas Erfinder des Jahres ausgezeichnet

Die Auszeichnung wurde in München von Günter Verheugen, Vize-Präsident der EU-Kommission, und EPA-Präsident Alain Pompidou überreicht. "Der Preis würdigt die große Tragweite vieler Innovationen der Bosch-Gruppe", betonte Dr. Siegfried Dais, stellvertretender Vorsitzender der Geschäftsführung und unter anderem verantwortlich für Forschung und Vorausentwicklung. Mit dem Preis werden Erfinder und Innovationen ausgezeichnet, die in Europa und darüber hinaus einen maßgeblichen Beitrag zum technischen Fortschritt und damit auch zur wirtschaftlichen Stärkung Europas geleistet haben. Urban und Dr. Lärmer haben ein Verfahren entwickelt, das die Herstellung von mikromechanischen Bauelementen – so genannte MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) – revolutioniert hat. Ohne sie wären Sicherheitstechniken wie beispielsweise der Airbag im Auto nicht möglich. Auch im elektronischen Stabilitätsprogramm ESP® und beim Überrollschutz kommen sie zum Einsatz. Bei der Entwicklung von Urban und Dr. Lärmer handelt es sich um ein besonderes Plasmaätzverfahren für Silizium. Damit wurde es erst möglich, Sensoren in großer Stückzahl kostengünstig herzustellen. Aus der heutigen Mikrosystemtechnik ist das mittlerweile allgemein als "Bosch-Prozess" bekannte Verfahren nicht mehr wegzudenken: nahezu alle MEMS weltweit werden mit Hilfe dieses Prozesses hergestellt. Andere Verfahren wie beispielsweise das Nassätzen von Silizium in Kalilauge wurden dadurch weitgehend abgelöst. Das Basispatent stammt aus dem Jahr 1992. Es wurde immer weiter entwickelt und verfeinert. Inzwischen sind rund um diese Technik etwa 40 Patentfamilien mit mittlerweile mehr als 350 Einzelpatenten entstanden. Allein im Bosch-Werk Reutlingen werden jährlich mehr als 130 Millionen Sensoren nach dem Bosch-Prozess hergestellt. Die Tendenz ist weiter steigend, denn die Produkte werden in immer mehr Bereichen eingesetzt, neben dem Automobil beispielsweise auch in Handys, Laptops oder Spielekonsolen. Bosch wird in diesem Jahr mit dem Bau einer neuen Halbleiterfertigung in Reutlingen beginnen. Das Investitionsvolumen beträgt rund 600 Millionen Euro. Der Produktionsstart ist für Anfang 2009 geplant.