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Komponenten | 30 November 2011

Mikroelektronik macht immer mehr Klimaschutz

Die Halbleiterhersteller in Deutschland halten ihre Klima-Selbstverpflichtung ein. Die Unternehmen tragen damit zur deutlichen Reduzierung der Emissionen fluorierter Treibhausgase bei.
Dies geht aus dem Abschlussbericht ĂŒber die freiwilligen Klimaschutzanstrengungen dieser Industrie hervor. Vertreter fĂŒhrender deutscher Halbleiterunternehmen und des ZVEI - Zentralverband Elektrotechnik- und Elektronikindustrie ĂŒberreichten den Bericht dem Bundesumweltministerium.

"Die deutschen Halbleiterhersteller gehen hier mit gutem Beispiel voran. Dieser Beitrag zum Klimaschutz ist auch deswegen so wichtig, weil die Mikroelektronik vielen Branchen wichtige Basistechnologien liefert“, sagte UBA-PrĂ€sident Jochen Flasbarth.

Im Rahmen des Kyoto-Protokolls verpflichteten sich die Halbleiterhersteller freiwillig, in ihren deutschen ProduktionsstĂ€tten, bestimmte fluorierte Treibhausgase zu reduzieren. Es handelt sich dabei um die Stoffgruppe der PFC – perfluorinated compounds, die ĂŒber das grĂ¶ĂŸtmögliche Treibhaus­potenzial aller Treibhausgase verfĂŒgt.

Eingesetzt werden PFC-Gase als Prozessgas bei der Chipherstellung sowie zur Reinigung von Fertigungsanlagen. In der Selbstverpflichtung sagt die Halbleiterindustrie zu, die PFC-Emissionen von 1995 bis 2010 absolut um acht Prozent zu verringern – berechnet nach Kohlendioxid-Äquivalenten.

Um dieses ehrgeizige Ziel zu erreichen unternahm die deutsche Halbleiterindustrie in den vergangenen Jahren große Anstrengungen. Sie setzt dabei vor allem auf neue Abgasreinigungstechniken. Außerdem werden die Prozessgase effektiver eingesetzt und zum Teil werden sie durch andere Substanzen mit einem geringeren Treibhauspotenzial ersetzt.

„Das Engagement der Halbleiterindustrie fĂŒhrte diese Selbstverpflichtung zu einem ĂŒberzeugenden Ergebnis“, betonte StaatssekretĂ€r JĂŒrgen Becker vom Bundesministerium fĂŒr Umwelt, Naturschutz und Reaktorsicherheit (BMU) bei der Übergabe des Berichts. „Das ist umso bedeutsamer, als im gleichen Zeitraum die Produktion von Halbleiterkomponenten um rund sieben Prozent im Jahr gewachsen ist. Dies sollte Ansporn fĂŒr weitere internationale Anstrengungen sein.“

Der ZVEI-Arbeitskreis Umweltschutz und Arbeitssicherheit entwickelte fĂŒr die Standorte in den deutschen Halbleiterfertigungen spezielle ReduzierungsplĂ€ne. "Deren konsequente Umsetzung hat mit einer Minderung der Emissionen um 47 Prozent zur beispielhaften ErfĂŒllung unseres Ziels gefĂŒhrt“, erlĂ€uterte Dr. Klaus Mittelbach, Vorsitzender der GeschĂ€ftsfĂŒhrung des ZVEI. „Dadurch konnte die deutsche Halbleiterindustrie auch maßgeblich zur PFC-Reduktion auf europĂ€ischer Ebene beitragen."

Die Mikroelektronik ist die wichtigste Basistechnologie fĂŒr die LeitmĂ€rkte der Zukunft. Sie treibt komplexe Anwendungen in deutschen SchlĂŒsselindustrien wie Automotive, Energie- und Medizin­technik voran und wirkt als starker Hebel fĂŒr die gesamte Volkswirtschaft. Sie ermöglicht energieeffiziente Lösungen, Systeme und Produkte und leistet dadurch einen wesentlichen Beitrag zum verantwortungsvolleren Umgang mit natĂŒrlichen Ressourcen.
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