Mikroelektronik macht immer mehr Klimaschutz

Dies geht aus dem Abschlussbericht über die freiwilligen Klimaschutzanstrengungen dieser Industrie hervor. Vertreter führender deutscher Halbleiterunternehmen und des ZVEI - Zentralverband Elektrotechnik- und Elektronikindustrie überreichten den Bericht dem Bundesumweltministerium. "Die deutschen Halbleiterhersteller gehen hier mit gutem Beispiel voran. Dieser Beitrag zum Klimaschutz ist auch deswegen so wichtig, weil die Mikroelektronik vielen Branchen wichtige Basistechnologien liefert“, sagte UBA-Präsident Jochen Flasbarth. Im Rahmen des Kyoto-Protokolls verpflichteten sich die Halbleiterhersteller freiwillig, in ihren deutschen Produktionsstätten, bestimmte fluorierte Treibhausgase zu reduzieren. Es handelt sich dabei um die Stoffgruppe der PFC – perfluorinated compounds, die über das größtmögliche Treibhaus­potenzial aller Treibhausgase verfügt. Eingesetzt werden PFC-Gase als Prozessgas bei der Chipherstellung sowie zur Reinigung von Fertigungsanlagen. In der Selbstverpflichtung sagt die Halbleiterindustrie zu, die PFC-Emissionen von 1995 bis 2010 absolut um acht Prozent zu verringern – berechnet nach Kohlendioxid-Äquivalenten. Um dieses ehrgeizige Ziel zu erreichen unternahm die deutsche Halbleiterindustrie in den vergangenen Jahren große Anstrengungen. Sie setzt dabei vor allem auf neue Abgasreinigungstechniken. Außerdem werden die Prozessgase effektiver eingesetzt und zum Teil werden sie durch andere Substanzen mit einem geringeren Treibhauspotenzial ersetzt. „Das Engagement der Halbleiterindustrie führte diese Selbstverpflichtung zu einem überzeugenden Ergebnis“, betonte Staatssekretär Jürgen Becker vom Bundesministerium für Umwelt, Naturschutz und Reaktorsicherheit (BMU) bei der Übergabe des Berichts. „Das ist umso bedeutsamer, als im gleichen Zeitraum die Produktion von Halbleiterkomponenten um rund sieben Prozent im Jahr gewachsen ist. Dies sollte Ansporn für weitere internationale Anstrengungen sein.“ Der ZVEI-Arbeitskreis Umweltschutz und Arbeitssicherheit entwickelte für die Standorte in den deutschen Halbleiterfertigungen spezielle Reduzierungspläne. "Deren konsequente Umsetzung hat mit einer Minderung der Emissionen um 47 Prozent zur beispielhaften Erfüllung unseres Ziels geführt“, erläuterte Dr. Klaus Mittelbach, Vorsitzender der Geschäftsführung des ZVEI. „Dadurch konnte die deutsche Halbleiterindustrie auch maßgeblich zur PFC-Reduktion auf europäischer Ebene beitragen." Die Mikroelektronik ist die wichtigste Basistechnologie für die Leitmärkte der Zukunft. Sie treibt komplexe Anwendungen in deutschen Schlüsselindustrien wie Automotive, Energie- und Medizin­technik voran und wirkt als starker Hebel für die gesamte Volkswirtschaft. Sie ermöglicht energieeffiziente Lösungen, Systeme und Produkte und leistet dadurch einen wesentlichen Beitrag zum verantwortungsvolleren Umgang mit natürlichen Ressourcen.