Der Auftrag der Universität geht über eine Anlage mit einer Waferkonfiguration von 3x2 Zoll, die im ersten Quartal 2009 ausgeliefert wird. Ausgestattet mit einem Dreikammer-Showerhead, dient sie speziell der Erforschung von Halbleiter-Heterostrukturen auf Zinkoxidbasis.

Prof. Magnus Wallander von der Abteilung -Science and Technology- des Norrköping Campus, Universität Linköping, merkt an: „Einer der Hauptgründe, weshalb wir uns für Aixtron entschieden haben, ist das breite Prozess-Spektrum des CCS-Reaktors. Die Anlage ermöglicht uns das Wachstum homogener Schichtstrukturen mit minimalen Vorreaktionen. Beides sind notwendige Voraussetzungen für die Herstellung dieser interessanten neuen Produktfamilie ZnO-basierender Bauelemente. All diese Aspekte, der guten Unterstützung vor Ort sowie der Vertrautheit mit einer großen Bandbreite von Materialtechnologien macht die CCS-Reaktoranlage für uns zur ersten Wahl im Vergleich zu anderen Modellen.“

Zinkoxid-Nanostrukturen sind aufgrund ihrer besonderen Eigenschaften sehr gut geeignet für kurzwellige optoelektronische Bauelemente wie zum Beispiel weiße LEDs, UV-Biosensoren und Resonatoren. Nanostrukturen könnten zudem in Zukunft als Elektrodenmaterial in Tandem-Solarzellen genutzt werden, bei denen Polymere und so genannte kleine Molekül-Materialien zum Einsatz kommen. Nicht zuletzt sind die ferromagnetischen Eigenschaften von ZnO, dotiert mit seltenen Erdmetallen, auch interessant für das Design von neuartigen Datenspeichergeräten.

Bevor diese Eigenschaften in kommerziellen Bauteilen zur Anwendung kommen können, ist die Erforschung von entsprechenden Wachstumstechniken notwendig. Erste Forschungsergebnisse sind hier viel versprechend. Im nächsten Schritt sollen diese Verfahren zur Marktreife gebracht werden, etwa mit Hilfe der Aixtron Close Coupled Showerhead-Anlage, die speziell für Nanostrukturen und andere anspruchsvolle Materialien optimiert wurde.
-----

MOCVD, Metal Organic Chemical Vapor Deposition = Metall-organische Gasphasenabscheidung
UHB LEDs, Ultra High Brightness Light Emitting Diodes = ultrahelle Leuchtdioden

Der Begriff Close Coupled Showerhead ist eingetragenes Warenzeichen.