Aixtron CRIUS II in Taiwan qualifiziert

Chi Mei war der erste Kunde in Taiwan, an den die CRIUS II geliefert wurde. Ein Service Team von Aixtron Taiwan hatte die 55x2-Zoll-Anlage in einer Produktionsstätte in der Nähe des Southern Taiwan Science Park installiert und in Betrieb genommen. Die Teams beider Unternehmen arbeiteten anschließend eng zusammen, um den Qualifizierungsprozess zu beschleunigen. Der Transfer von der bestehenden CRIUS auf die CRIUS II sei reibungslos verlaufen, sagte ein Vertreter von Chi Mei. Er nannte insbesondere die außergewöhnliche Übertragbarkeit von Prozessen mittels einfacher Flächenskalierung als eine herausragende Eigenschaft der Close Coupled Showerhead-Technologie. Nach der erfolgreichen Qualifizierung ist der Hersteller nun in der Lage, seine komplette HB-LED-Produktreihe mit der bisher kürzesten Vorlaufzeit auf den Markt zu bringen. ----- MOCVD, Metal Organic Chemical Vapor Deposition = Metall-organische Gasphasenabscheidung HB-LEDs, Hight Brightness LEDs = Sehr helle LEDs