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Elektronikproduktion | 17 Februar 2011

ISCAS produziert Elektronik und rote LEDs mit Aixtron Anlagen

Das Institute of Semiconductors Chinese Academy of Sciences (ISCAS) mit Sitz in Beijing hat im 3Q/2010 zwei neue Aixtron MOCVD-Anlagen bestellt, eine 3x2-Zoll AIX 200/4 und eine 8x3-Zoll AIX 2600G3 IC.
Nach der Auslieferung im 2Q/2011 wird ISCAS damit elektronische Bauteile und rote LEDs herstellen. Aixtrons Serviceteam China wird die Anlagen in ISCAS' Forschungslabor in Betrieb nehmen.

Bei der Bestellung handelt es sich um einen Folgeauftrag. ISCAS führe seit mehr als einem halben Jahrzehnt eine gute, auf Langfristigkeit angelegte Geschäftsbeziehung mit Aixtron, so ein Sprecher des Instituts. "Die Anlagen werden hochwertige Forschungsergebnisse zur Erschließung neuer Technologiebereiche liefern. Erste Tests haben auf beeindruckende Weise gezeigt, wie effektiv und einfach sich bestehende Prozesse auf die neuen Aixtron Anlagen übertragen lassen."

Die Geschäftsverbindung zwischen ISCAS und Aixtron besteht seit 2003. "Damals hatten wir unseren Forschungs- und Entwicklungsbereich um eine moderne 3x2-Zoll Close Coupled Showerhead-Anlage (CCS) erweitert, mit der wir 4-Zoll Wafer mit hochwertigen GaN-Schichten auf Saphir hergestellt haben. Darüber hinaus haben wir auch GaN auf Silizium produziert, hauptsächlich für die Entwicklung kurzwelliger GaN-Laserdioden und UV-Photodetektoren", so der Sprecher abschließend.

Das Institute of Semiconductors war eine der ersten Einrichtungen respektive Universitäten Chinas, die Master- und Doktortitel verleihen und Habilitandenstellen in der Forschung anbieten. Aktuell stehen drei Habilitanden-, vier Doktoranden- und fünf Masterstudiengänge zur Auswahl. ISCAS trägt wesentlich zur Weiterentwicklung der chinesischen Halbleiterwissenschaft und -technologie bei und wird auch künftig einen bedeutenden Beitrag leisten.
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MOCVD, Metal Organic Chemical Vapor Deposition = Metall-organische Gasphasenabscheidung
GaN = Galliumnitrid

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