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Elektronikproduktion | 17 Februar 2011

ISCAS produziert Elektronik und rote LEDs mit Aixtron Anlagen

Das Institute of Semiconductors Chinese Academy of Sciences (ISCAS) mit Sitz in Beijing hat im 3Q/2010 zwei neue Aixtron MOCVD-Anlagen bestellt, eine 3x2-Zoll AIX 200/4 und eine 8x3-Zoll AIX 2600G3 IC.
Nach der Auslieferung im 2Q/2011 wird ISCAS damit elektronische Bauteile und rote LEDs herstellen. Aixtrons Serviceteam China wird die Anlagen in ISCAS' Forschungslabor in Betrieb nehmen.

Bei der Bestellung handelt es sich um einen Folgeauftrag. ISCAS f√ľhre seit mehr als einem halben Jahrzehnt eine gute, auf Langfristigkeit angelegte Gesch√§ftsbeziehung mit Aixtron, so ein Sprecher des Instituts. "Die Anlagen werden hochwertige Forschungsergebnisse zur Erschlie√üung neuer Technologiebereiche liefern. Erste Tests haben auf beeindruckende Weise gezeigt, wie effektiv und einfach sich bestehende Prozesse auf die neuen Aixtron Anlagen √ľbertragen lassen."

Die Gesch√§ftsverbindung zwischen ISCAS und Aixtron besteht seit 2003. "Damals hatten wir unseren Forschungs- und Entwicklungsbereich um eine moderne 3x2-Zoll Close Coupled Showerhead-Anlage (CCS) erweitert, mit der wir 4-Zoll Wafer mit hochwertigen GaN-Schichten auf Saphir hergestellt haben. Dar√ľber hinaus haben wir auch GaN auf Silizium produziert, haupts√§chlich f√ľr die Entwicklung kurzwelliger GaN-Laserdioden und UV-Photodetektoren", so der Sprecher abschlie√üend.

Das Institute of Semiconductors war eine der ersten Einrichtungen respektive Universit√§ten Chinas, die Master- und Doktortitel verleihen und Habilitandenstellen in der Forschung anbieten. Aktuell stehen drei Habilitanden-, vier Doktoranden- und f√ľnf Masterstudieng√§nge zur Auswahl. ISCAS tr√§gt wesentlich zur Weiterentwicklung der chinesischen Halbleiterwissenschaft und -technologie bei und wird auch k√ľnftig einen bedeutenden Beitrag leisten.
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MOCVD, Metal Organic Chemical Vapor Deposition = Metall-organische Gasphasenabscheidung
GaN = Galliumnitrid
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