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Elektronikproduktion | 15 Juli 2010

Aixtron liefert QXP-8300 ALD-Anlage nach Taiwan

Ein großer taiwanesischer Halbleiterhersteller hat im 1Q/2010 eine Aixtron QXP-8300 ALD-Anlage fĂŒr 300 mm Wafer zur Herstellung von high-k-Materialien der nĂ€chsten Generation bestellt. Die Anlage wird im 2H/2010 ausgeliefert.
"Diese Bestellung sehen wir als Anerkennung unserer einzigartigen, patentierten TriJet-Prozesstechnologie fĂŒr die Serienproduktion von high-k-Materialien der nĂ€chsten Generation", erklĂ€rt Dr. Sasangan Ramanathan, Leiter der Abteilung Technology bei Aixtron. „Die Bestellung aus Taiwan spricht sowohl fĂŒr unsere Technologie als auch fĂŒr deren Einsetzbarkeit fĂŒr die Massenproduktion", bekrĂ€ftigt Aixtron COO Dr. Bernd Schulte. „Im Vergleich zum Wettbewerb bietet sie die niedrigsten Betriebs- und Verbrauchskosten und liefert Herstellern den seit langem erwarteten Lösungsansatz bei der Abscheidung moderner high-k-Materialien, ohne Kompromisse in Sachen ProduktivitĂ€t eingehen zu mĂŒssen." Das weltweit steigende Interesse fĂŒhrender Chiphersteller sei eine sehr erfreuliche Entwicklung, so Dr. Schulte weiter. „Immer mehr Kunden sprechen uns auf die TriJet-Technologie respektive die QXP-8300 Plattform an, um DRAM-Kondensatoren und Flash-Anwendungen der nĂ€chsten Generation herzustellen." ----- ALD, Atomic Layer Deposition = Atomlagenabscheidung
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