TU Delft investiert in Aixtron Maschinen

Die 4-Zoll-Anlage wurde in einem Reinraum der Klasse 10.000 am Delfter Institut für Mikrosysteme und Nanoelektronik (DIMES) installiert. Im Vorfeld wurden zahlreiche Anlagen auf ihre Eigenschaften bei Niedrigtemperaturabscheidung und auf Systemflexibilität geprüft. Professor Ryoichi Ishihara von der Fakultät Elektrische Energietechnik, Mathematik und Computerwissenschaften (EEMCS) am DIMES-Institut setzt auf die Black Magic-Technologie von Aixtron: „Die Anlage hat sich bei der Herstellung von Kohlenstoffnanoröhren bewährt – und sie ist flexibel und zuverlässig. Mehr noch – mit dem breiten Prozess-Spektrum können wir unterschiedliche CNT-Varianten herstellen. Wir erhalten also genau die hervorragenden Systemeigenschaften, die wir für unsere CNT- und MEMS-Forschung benötigen." Das DIMES-Institut setzt sich aus verschiedenen Fakultäten der Technischen Universität Delft zusammen und ist aufgrund seiner innovativen Forschungsarbeiten „More than Moore“ weltweit anerkannt. Bekannt ist es auch für hochqualifizierte Forscher, ein sehr erfahrenes technisches Team und modernste Ausstattung. Auf einer Fläche von 1500 Quadratmetern stehen Reinräume der Klassen 100 – 10.000, Labore zur MEMS-Herstellung sowie weitere Speziallabore zur Verfügung. ----- CNT, Carbon Nanotubes = Kohlenstoffnanoröhren MEMS, Micro-Electro-Mechanical Systems = Mikro-Elektro-Mechanische Systeme