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Allgemein | 17 August 2006

Kletten statt Kleben

Am Institut f√ľr Mikro- und Nanotechnologien der TU Ilmenau haben Nachwuchswissenschaftler einen winzigen "Klettverschluss" f√ľr die Verbindung von Halbleiterchips entwickelt. Die Nadelstruktur im Silizium funktioniert √§hnlich wie ein Klettverschluss. Erzeugt wird die feine Struktur durch Aufrauen der Oberfl√§che des Bauelements.
Hierzu wird das Silizium mit geladenen Teilchen so lange bombardiert, bis lange, spitze Nadeln entstehen, die 20 Tausendstel Millimeter lang und einen halben Mikrometer breit sind. Gegeneinander gedr√ľckt, verkeilen sich die Nadeln ineinander und geben den Bauteilen festen Halt. Wegen der √Ąhnlichkeit zur Struktur eines Rasens sprechen die Wissenschaftler auch von Siliziumgras.
Gegen√ľber dem herk√∂mmlichen Verkleben oder Bonden kann der Klettverschluss bei jeder beliebigen Temperatur bis zu f√ľnf Mal zusammengef√ľgt und wieder gel√∂st werden. Dabei lassen sich die Mikrochips einfach positionieren
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