UCSB forscht mit Aixtron Black Magic PECVD-Anlage

Mit dem kombinierten System können sowohl thermische wie plasmagestützte CVD-Prozesse durchgeführt werden. Der Leiter der Forschungsabteilung am kalifornischen Nanoelectronics Research Lab, Professor Kaustav Banerjee, wird die neue Anlage für das Wachstum von Kohlenstoffkristallen und -nanoröhren (CNTs) einsetzen. Die Aixtron PECVD-Anlage wird vor allem wegen ihrer schnellen Aufheizphase und der seit 2005 in der Praxis bewährten Plasmatechnologie weltweit von Kunden für die Abscheidung unterschiedlichster CNT-Strukturen – beispielsweise für Niedertemperatur-, Multi- / Singlewall- und sogenannte "Supergrowth“-Kohlenstoffnanoröhren – genutzt. Das Nanoelectronics Research Lab der UCSB, ein Forschungslabor auf Weltklasseniveau, forscht auf dem Gebiet der CMOS-Nanostrukturen. Einen Namen hat sich das Team auch bei der Weiterentwicklung zukunftsfähiger elektronischer, energiesparender und -speichernder Anwendungen gemacht, insbesondere bei der Prozessmodellierung, dem Design und der Herstellung von Nanomaterialien wie Kohlenstoffnanoröhren, -kristalle und Nanodrähte. ----- CVD, Chemical Vapor Deposition = chemische Gasphasenabscheidung CNT, Carbon Nanotubes = Kohlenstoffnanoröhren PECVD, Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition = plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung CMOS, Complementary Metal Oxide Semiconductor = komplementärer Metall-Oxid-Halbleiter