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Elektronikproduktion | 24 Juni 2009

Fraunhofer Institut bestellt Aixtron MOCVD-Anlage

Das Fraunhofer Institut für Solare Energiesysteme (ISE) mit Sitz in Freiburg hat im vierten Quartal 2008 eine AIX 2800G4-R MOCVD*-Anlage mit automatischer Waferbestückung bestellt. Die Planetary Reactor-Anlage in einer Konfiguration von 8x6 Zoll wird im vierten Quartal 2009 ausgeliefert.

Die neue Anlage, finanziert vom BMBF und der Fraunhofer-Gesellschaft, wird das Herzstück eines Kooperationsprogramms mit Industriepartnern zur Forschung und Entwicklung der nächsten Generation von Dreifach- und Mehrfachsolarzellen. Dr. Frank Dimroth, Leiter der Arbeitsgruppe 'III-V-Epitaxie und Solarzellen' am Fraunhofer Institut, erklärt: „Wir haben uns für eine Aixtron MOCVD-Anlage entschieden, weil durch die Planetary Reactor-Technologie eine sehr hohe Flexibilität und Reproduzierbarkeit erzielt wird. Auch können wir das weite Prozessfenster dazu nutzen, neue Technologien zu entwickeln, die auf Verbindungshalbleitern basieren. Die AIX 2800G4 R bietet weitgehende Möglichkeiten der in-situ-Prozesskontrolle und erlaubt uns, die Waferkonfiguration flexibel bis auf 8,5 Zoll zu vergrößern. Die Optimierung des Reaktordesigns, verglichen mit unserer derzeitigen AIX 2600G3-Anlage, hat mich sehr beeindruckt. Mit Hilfe dieser modernsten Technologie wollen wir unser primäres Forschungsziel erreichen: die Umsetzung unserer Forschungsergebnisse in den Prozess der Massenproduktion.“ Das Fraunhofer ISE erforscht Technologien zum effizienteren Energieeinsatz, der zu einer umweltfreundlichen Energieversorgung in Industrienationen, Schwellenländern sowie Entwicklungsländern beitragen soll. Hierzu entwickelt das Institut Systeme, Komponenten, Materialien und Prozesse, die das Gebiet der thermischen Nutzung von Solarenergie, Solargebäude, Solarzellen, elektrischer Stromversorgung, chemischer Energieumwandlung, Energiespeicherung und den bewussten Umgang mit Energie umfassen. Die Arbeit des Instituts reicht von der Grundlagenforschung bei Solarenergieanwendungen über die Entwicklung von Produktionstechnologie und Prototypen, bis zur Konstruktion von Demonstrationsanlagen. Das Institut plant, berät, prüft und stellt Know-how und technische Ausrüstung von Demonstrationsanlagen. ----- *MOCVD, Metal Organic Chemical Vapor Deposition = Metall-organische Gasphasenabscheidung
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2019.04.18 05:19 V13.0.9-2