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Elektronikproduktion | 30 April 2009

Aixtron und Semileds erzielen erste Erfolge bei ultrahellen blauen LEDs auf 6-Zoll-Wafern

In Zusammenarbeit mit Aixtron hat Semileds erfolgreich blaue LED-Chips auf Basis von Galliumnitrid (GaN) auf 6-Zoll-Saphirwafern hergestellt. Die guten optischen Ergebnisse sind in einem weitgehend produktionskompatiblen Prozess erzielt worden, so dass das Unternehmen schon bald von der Produktion auf dieser WafergrĂ¶ĂŸe profitieren wird.
Der Produktionsprozess auf 6-Zoll-Wafern beruht auf der MOCVD*-Technologie und durchlĂ€uft weitere Fabrikationsschritte bis hin zum finalen Test. In diesem Fall wurde auf einer AIX 2800G4 HT MOCVD-Anlage in 6x6 Zoll-Konfiguration die LED-Struktur auf einem 1000 ”m dicken 6-Zoll-Saphirsubstrat abgeschieden. Dr. Chuong Tran, GeschĂ€ftsfĂŒhrer von Semileds, kommentiert die Ergebnisse: „Die Helligkeit und Effizienz sind vielversprechend, wobei sich die Vorgehensweise vom bereits etablierten 4-Zoll-Saphirprozess kaum unterscheidet. Wenn wir von der HomogenitĂ€t der 18.000 1x1 mm großen, vertikalen LEDs (auf Metalllegierungschips) ausgehen, die aus einem einzigen Wafer gewonnen wurden, sehen wir ganz klar die Vorteile: Ein wichtiger Grund fĂŒr die deutlich höhere Ausbeute im Prozess mit grĂ¶ĂŸeren Wafern liegt im Randbereich, der – im Vergleich zu neun 2-Zoll-Wafern – betrĂ€chtlich verkleinert werden konnte.“ Dr. Christian Geng, Aixtrons General Manager Greater China, ergĂ€nzt: „Der Prozess ist von A bis Z ein voller Erfolg. Ein Upgrade auf 6x6 Zoll bei einer vorhandenen AIX 2800G4 HT-Anlage in einer 42x2 Zoll-Konfiguration erfordert lediglich den Austausch der so genannten Satellitenscheiben. Daher gehe ich davon aus, dass viele unserer Kunden auf 6-Zoll wechseln werden, sobald der Preis fĂŒr 6-Zoll-Substrate konkurrenzfĂ€higer geworden ist.“ MOCVD, Metal Organic Chemical Vapor Deposition = Metall-organische Gasphasenabscheidung
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