BluGlass und Aixtron kooperieren bei RPCVD-Technologie

Für die Skalierung von RPCVD auf die Massenproduktion hat BluGlass sich für die AIX 2800G4-HT-Anlage entschieden. Aufgrund seiner urheberrechtlich geschützten doppelachsigen Waferrotation während der Deposition liefert der Planetary Reactor® von Aixtron gleichmäßige Halbleiterschichten. Die RPCVD-Technologie ermöglicht die Niedertemperaturabscheidung von III-V-Nitriden, was die Leistung von Bauteilen potenziell verbessern könnte. Die erste Integration von RPCVD auf die AIX 2800G4-HT erfolgt im Silverwater-Werk von BluGlass in Sydney, Australien. „Wir freuen uns, dass Aixtron uns bei diesem Großprojekt zur Skalierung unserer Technologie unterstützt“, sagt Giles Bourne, Geschäftsführer von BluGlass. Dies sei ein wichtiger Schritt, um die wirtschaftliche Tragfähigkeit von RPCVD in der Großserienfertigung zu demonstrieren. Bei Aixtron sei man bestrebt, neue Technologien auf die Plattformen zu bringen, ergänzt Dr. Ken Teo, Chief Innovation Officer von Aixtron. „Wir wollen das Potenzial der RPCVD-Technologie für die Niedertemperaturabscheidung von Nitrid-Schichten untersuchen, die neue Möglichkeiten für optoelektronische Bauelemente eröffnen können“, so Teo abschließend.