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© Aixtron Elektronikproduktion | 07 Januar 2019

BluGlass und Aixtron kooperieren bei RPCVD-Technologie

Aixtron SE wird k√ľnftig mit dem australischen Technologie-Innovator BluGlass Limited zusammenarbeiten. Dabei gehe es um die Remote Plasma Deposition (RPCVD)-Technologie, teilt das Unternehmen mit.
F√ľr die Skalierung von RPCVD auf die Massenproduktion hat BluGlass sich f√ľr die AIX 2800G4-HT-Anlage entschieden. Aufgrund seiner urheberrechtlich gesch√ľtzten doppelachsigen Waferrotation w√§hrend der Deposition liefert der Planetary Reactor¬ģ von Aixtron gleichm√§√üige Halbleiterschichten. Die RPCVD-Technologie erm√∂glicht die Niedertemperaturabscheidung von III-V-Nitriden, was die Leistung von Bauteilen potenziell verbessern k√∂nnte. Die erste Integration von RPCVD auf die AIX 2800G4-HT erfolgt im Silverwater-Werk von BluGlass in Sydney, Australien.

‚ÄěWir freuen uns, dass Aixtron uns bei diesem Gro√üprojekt zur Skalierung unserer Technologie unterst√ľtzt“, sagt Giles Bourne, Gesch√§ftsf√ľhrer von BluGlass. Dies sei ein wichtiger Schritt, um die wirtschaftliche Tragf√§higkeit von RPCVD in der Gro√üserienfertigung zu demonstrieren. Bei Aixtron sei man bestrebt, neue Technologien auf die Plattformen zu bringen, erg√§nzt Dr. Ken Teo, Chief Innovation Officer von Aixtron. ‚ÄěWir wollen das Potenzial der RPCVD-Technologie f√ľr die Niedertemperaturabscheidung von Nitrid-Schichten untersuchen, die neue M√∂glichkeiten f√ľr optoelektronische Bauelemente er√∂ffnen k√∂nnen“, so Teo abschlie√üend.
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