Erste Erfolge beim Forschungspartner IMS CHIPS

Diese erlauben es, feinere Strukturen von Mikrochips zu belichten, um diese noch kleiner, leistungsfähiger, energieeffizienter und preiswerter zu machen. Wesentliche Elemente dieser Nanometer-Optiken werden von IMS CHIPS entwickelt. Immer kleinere Strukturen erfordern jedoch immer aufwendigere und größere Geräte. Deshalb hat IMS CHIPS in einen sogenannten Elektronenstrahl-Schreiber der neuesten Generation investiert. Die Finanzierung des Hightech-Equipments war nur möglich über einen Forschungsverbund zwischen ZEISS und IMS CHIPS. Finanzielle Unterstützung leisteten sowohl das Land Baden-Württemberg als auch ZEISS. IMS CHIPS und ZEISS kooperieren bereits seit 2002. Das Institut trägt zur Umsetzung von Ergebnissen aus Forschung und Entwicklung in die industrielle Praxis bei. Der neue Schreiber bei IMS CHIPS bildet die Grundlage für die Fortsetzung dieser erfolgreichen Zusammenarbeit einerseits und ermöglicht andererseits, dass den mittelständischen Partnern und Kunden von IMS CHIPS auch weiterhin die fortschrittlichste Strukturierungstechnologie für ihre Entwicklungen zur Verfügung steht. "Unsere besondere Expertise sind die Nanostrukturierung für verschiedenste Applikationen und die Erforschung und Entwicklung neuer Verfahren zur Herstellung von Mikrochips. Mit ZEISS als Partner können wir unsere besonderen technologischen Möglichkeiten in Stuttgart zur Entwicklung industrietauglicher Produkte einsetzen“, erläutert Prof. Dr. Joachim Burghartz, Direktor und Vorstandsvorsitzender von IMS CHIPS. "Mit dem leistungsfähigen Elektronenstrahl-Schreiber können wir hochkomplexe Mikrostrukturen auf einer Vielzahl von Substraten nanometergenau aufbringen." Die Kooperationspartner zeigen sich sehr zufrieden über die bereits erzielten Erfolge und die hohe Präzision. Mit welch hoher Auflösung und Genauigkeit nanostrukturierte Komponenten erzeugt werden können, zeigt ein Vergleich im makroskopischen Maßstab: Das Gerät könnte auf einer Fläche, die so groß ist wie Baden-Württemberg, eine Struktur mit der Größe einer Münze bei einer Lagegenauigkeit von drei Millimetern generieren. ZEISS verspricht sich vom Einsatz eines derart präzisen Schreibers die Weiterentwicklung und Verbesserung der Prozesse zur Herstellung der hochkomplexen Lithografie-Optiken, die in sogenannten Waferscannern zur Anwendung kommen. Waferscanner gehören zu den wichtigsten Produktionsmaschinen für die Chipherstellung. Auch Dr. Andreas Dorsel, Mitglied der Geschäftsführung der Carl Zeiss SMT GmbH, sieht in der Vernetzung von Wissenschaft und Wirtschaft Potenzial. "IMS CHIPS betreibt angewandte, ergebnisorientierte Forschung und ist mit seinen weltweit herausragenden technologischen Möglichkeiten zur Nanostrukturierung für uns ein wichtiger Technologiepartner bei der Entwicklung unserer extrem anspruchsvollen optischen Komponenten. Die sehr gute Zusammenarbeit erlaubt uns, gemeinsam innovative Ideen für die Halbleiterindustrie zu verwirklichen." Wie wichtig derartige Kooperationen sind, unterstreicht auch Winfried Kaiser, Senior Vice President Produkt Strategie Lithografie-Optik bei ZEISS: "Uns ermöglicht die Zusammenarbeit, Forschungserkenntnisse in unsere Technologie- und Prozessentwicklungen und damit letztendlich in Produkte umzuwandeln. Wir schätzen zum einen die breite Kompetenz von IMS CHIPS auf verschiedenen Anwendungsfeldern. Zum anderen profitieren wir vom Wissens- und Technologietransfer aufgrund der Vernetzung des Instituts mit anderen Unternehmen." Dr. Hendrik Seliger, Leiter des Supply Chain Managements des Unternehmensbereichs Semiconductor Manufacturing Technology, resümiert: "Unsere Zusammenarbeit ist eng und über die Jahre gewachsen. IMS CHIPS zeigt eine enorm große Bereitschaft uns zu unterstützen, ist für unsere Anforderungen stets offen und agiert sehr flexibel – in einem sich stetig wandelnden Geschäft wie unserem ist das entscheidend." Dr. Mathias Irmscher, Geschäftsfeldleiter für Nanostrukturierung bei IMS CHIPS stellt fest: „Die Zusammenarbeit mit ZEISS ist eng und verläuft hervorragend. Unsere Mitarbeiter erkennen die hohe Bedeutung der Komponenten, die wir für ZEISS entwickeln und verschreiben sich höchster Qualität."