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© luchschen dreamstime.com Elektronikproduktion | 24 MĂ€rz 2014

Erste Erfolge beim Forschungspartner IMS CHIPS

Der Unternehmensbereich Semiconductor Manufacturing Technology von ZEISS und das Stuttgarter Institut fĂŒr Mikroelektronik (IMS CHIPS) arbeiten gemeinsam an der Entwicklung nanostrukturierter optischer Komponenten.
Diese erlauben es, feinere Strukturen von Mikrochips zu belichten, um diese noch kleiner, leistungsfĂ€higer, energieeffizienter und preiswerter zu machen. Wesentliche Elemente dieser Nanometer-Optiken werden von IMS CHIPS entwickelt. Immer kleinere Strukturen erfordern jedoch immer aufwendigere und grĂ¶ĂŸere GerĂ€te. Deshalb hat IMS CHIPS in einen sogenannten Elektronenstrahl-Schreiber der neuesten Generation investiert. Die Finanzierung des Hightech-Equipments war nur möglich ĂŒber einen Forschungsverbund zwischen ZEISS und IMS CHIPS. Finanzielle UnterstĂŒtzung leisteten sowohl das Land Baden-WĂŒrttemberg als auch ZEISS. IMS CHIPS und ZEISS kooperieren bereits seit 2002. Das Institut trĂ€gt zur Umsetzung von Ergebnissen aus Forschung und Entwicklung in die industrielle Praxis bei. Der neue Schreiber bei IMS CHIPS bildet die Grundlage fĂŒr die Fortsetzung dieser erfolgreichen Zusammenarbeit einerseits und ermöglicht andererseits, dass den mittelstĂ€ndischen Partnern und Kunden von IMS CHIPS auch weiterhin die fortschrittlichste Strukturierungstechnologie fĂŒr ihre Entwicklungen zur VerfĂŒgung steht. "Unsere besondere Expertise sind die Nanostrukturierung fĂŒr verschiedenste Applikationen und die Erforschung und Entwicklung neuer Verfahren zur Herstellung von Mikrochips. Mit ZEISS als Partner können wir unsere besonderen technologischen Möglichkeiten in Stuttgart zur Entwicklung industrietauglicher Produkte einsetzen“, erlĂ€utert Prof. Dr. Joachim Burghartz, Direktor und Vorstandsvorsitzender von IMS CHIPS. "Mit dem leistungsfĂ€higen Elektronenstrahl-Schreiber können wir hochkomplexe Mikrostrukturen auf einer Vielzahl von Substraten nanometergenau aufbringen." Die Kooperationspartner zeigen sich sehr zufrieden ĂŒber die bereits erzielten Erfolge und die hohe PrĂ€zision. Mit welch hoher Auflösung und Genauigkeit nanostrukturierte Komponenten erzeugt werden können, zeigt ein Vergleich im makroskopischen Maßstab: Das GerĂ€t könnte auf einer FlĂ€che, die so groß ist wie Baden-WĂŒrttemberg, eine Struktur mit der GrĂ¶ĂŸe einer MĂŒnze bei einer Lagegenauigkeit von drei Millimetern generieren. ZEISS verspricht sich vom Einsatz eines derart prĂ€zisen Schreibers die Weiterentwicklung und Verbesserung der Prozesse zur Herstellung der hochkomplexen Lithografie-Optiken, die in sogenannten Waferscannern zur Anwendung kommen. Waferscanner gehören zu den wichtigsten Produktionsmaschinen fĂŒr die Chipherstellung. Auch Dr. Andreas Dorsel, Mitglied der GeschĂ€ftsfĂŒhrung der Carl Zeiss SMT GmbH, sieht in der Vernetzung von Wissenschaft und Wirtschaft Potenzial. "IMS CHIPS betreibt angewandte, ergebnisorientierte Forschung und ist mit seinen weltweit herausragenden technologischen Möglichkeiten zur Nanostrukturierung fĂŒr uns ein wichtiger Technologiepartner bei der Entwicklung unserer extrem anspruchsvollen optischen Komponenten. Die sehr gute Zusammenarbeit erlaubt uns, gemeinsam innovative Ideen fĂŒr die Halbleiterindustrie zu verwirklichen." Wie wichtig derartige Kooperationen sind, unterstreicht auch Winfried Kaiser, Senior Vice President Produkt Strategie Lithografie-Optik bei ZEISS: "Uns ermöglicht die Zusammenarbeit, Forschungserkenntnisse in unsere Technologie- und Prozessentwicklungen und damit letztendlich in Produkte umzuwandeln. Wir schĂ€tzen zum einen die breite Kompetenz von IMS CHIPS auf verschiedenen Anwendungsfeldern. Zum anderen profitieren wir vom Wissens- und Technologietransfer aufgrund der Vernetzung des Instituts mit anderen Unternehmen." Dr. Hendrik Seliger, Leiter des Supply Chain Managements des Unternehmensbereichs Semiconductor Manufacturing Technology, resĂŒmiert: "Unsere Zusammenarbeit ist eng und ĂŒber die Jahre gewachsen. IMS CHIPS zeigt eine enorm große Bereitschaft uns zu unterstĂŒtzen, ist fĂŒr unsere Anforderungen stets offen und agiert sehr flexibel – in einem sich stetig wandelnden GeschĂ€ft wie unserem ist das entscheidend." Dr. Mathias Irmscher, GeschĂ€ftsfeldleiter fĂŒr Nanostrukturierung bei IMS CHIPS stellt fest: „Die Zusammenarbeit mit ZEISS ist eng und verlĂ€uft hervorragend. Unsere Mitarbeiter erkennen die hohe Bedeutung der Komponenten, die wir fĂŒr ZEISS entwickeln und verschreiben sich höchster QualitĂ€t."
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2019.02.20 12:04 V12.2.3-2