Im vierten Quartal 2013 konnte der Umsatz gegenüber dem Vorquartal (Q3/2013: EUR 46,2 Mio.) auf EUR 51,1 Mio. gesteigert werden. Das um Sondereffekte bereinigte EBIT lag mit EUR -8,3 Mio. (Q3/2013 bereinigt: EUR -9,2 Mio.) in Q4 leicht über dem entsprechenden Vergleichswert. Trotz des 20%igen Umsatzrückgangs im Gesamtjahr profitierte das Ergebnis von positiven Kosteneffekten und Effizienzgewinnen durch das in Q1/2013 gestartete 5-Punkte-Programm. Dabei konnten die um Sondereffekte bereinigten Betriebsaufwendungen des Jahres 2013 auf unter die ursprünglich anvisierten EUR 100 Mio. gesenkt werden (um Sondereffekte bereinigte Betriebsaufwendungen 2012: EUR 124,9 Mio.). Obwohl die Kapazitätsauslastungen in den Zielmärkten, z. B. bei führenden taiwanesischen und koreanischen LED-Herstellern, deutlich gestiegen sind, verharrte die Nachfrage nach Aixtron Produktionsanlagen während des gesamten Geschäftsjahres 2013 weiterhin auf einem niedrigen Niveau. Dementsprechend war der Anlagen-Auftragseingang im Geschäftsjahr 2013 mit EUR 133,2 Mio. nahezu unverändert gegenüber dem Vorjahreswert von EUR 131,4 Mio. Der Anlagen-Auftragsbestand zum 31. Dezember 2013 lag mit EUR 59,6 Mio. um 25% unter dem Vorjahresbestand von EUR 79,4 Mio. Diese anhaltende Nachfrageschwäche spiegelte sich auch in den rückläufigen Umsatzerlösen wider. Das Nettoergebnis des Aixtron Konzerns im Geschäftsjahr 2013 betrug EUR -101,0 Mio. gegenüber EUR -145,4 Mio. im Geschäftsjahr 2012.