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© ermess dreamstime.com Elektronikproduktion | 27 September 2013

UMass wählt AIXTRON Anlage

Die Universit√§t Massachusetts (UMass) Lowell, USA, nutzt eine neue BM-Depositionsanlage von AIXTRON f√ľr die Verarbeitung von 4-Zoll-Substraten.
Die Anlage wurde an das erst k√ľrzlich fertig gestellte ETIC-Zentrum (Emerging Technologies and Innovation Center) der Universit√§t ausgeliefert. ETIC ist mit modernster Technik ausgestattet und wird von Wissenschaftlern, Startups und am Campus angesiedelten Firmen gemeinschaftlich genutzt.

Ziel der Wissenschaftler sei es, Kohlenstoff-Nanor√∂hren (CNT) und Graphen in eine Vielzahl elektronischer Anwendungen zu integrieren ‚Äď von Hochfrequenztransistoren √ľber Energiespeicher bis hin zur flexiblen Elektronik, so Thomas Ferraguto, Direktor der Abteilung Nanofabrication Cleanroom Operations. ‚ÄěUnser Team ist sehr daran interessiert, Erkenntnisse √ľber die Eigenschaften von Graphen und Kohlenstoffnanor√∂hren zusammenzutragen. Die AIXTRON Anlage bietet uns die n√∂tige Flexibilit√§t, um diese Materialien zuverl√§ssig abzuscheiden." Ein weiterer Vorteil: Die BM-Anlage ist als Multi-User-Anwendung konzipiert, so k√∂nnen verschiedene Anwender gleichzeitig an der Anlage arbeiten und Materialverbr√§uche und Betriebskosten den jeweiligen Endanwendern aus Forschung oder Industrie direkt zugeordnet werden.
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2019.01.11 20:28 V11.10.27-2