FOREPI ordert mehrere Aixtron CRIUS II-L-Anlagen

Mit neuen 69x2-Zoll CRIUS II-L-Reaktoren will der taiwanesische Hersteller blaue und weiße LEDs auf Basis von Galliumnitrid herstellen. Seit dem vierten Quartal 2012 werden die Anlagen von Aixtrons Serviceteam in FOREPIs moderner Produktionsstätte im Pin-Jen Industriegebiet in Taiwan installiert und in Betrieb genommen. Die Auslieferung soll bis zum zweiten Quartal 2013 abgeschlossen sein. FOREPI hatte zuletzt im Mai 2012 eine größere Zahl CRIUS II-XL- und AIX G5 HT-Anlagen gekauft. Die neue Bestellung stehe daher für die generelle Zufriedenheit mit Aixtron Produkten, so FOREPI-Vorstand Dr. Frank Chien. Der deutsche Anlagenbauer habe sich stets als verlässlicher Partner erwiesen. „Aixtron bietet nicht nur optimalen Service, schnelle Reaktionszeiten und individuelle Lösungen. Die aktuelle MOCVD-Generation ist äußerst leistungsfähig, schnell produktionsbereit und erzielt höchste Durchsätze. Damit können die speziellen Anforderungen bei der Herstellung größerer Wafer erfüllt und hohe Chip-Erträge erzielt werden.“ Alle CRIUS II-L-Anlagen werden mit dem neuen ARGUS Topside Temperature Control (TTC) ausgeliefert. Die neue Messmethode beseitigt Temperaturschwankungen - sowohl innerhalb eines Produktionslaufs als auch in aufeinanderfolgenden Läufen - und ermöglicht bislang unerreichte Produktionserträge. „Die jüngste Bestellung zeigt eindrucksvoll die weitere Entwicklung FOREPIs als einer der führenden LED-Chiphersteller“, kommentiert Dr. Christian Geng, Geschäftsführer von Aixtron Taiwan. „Neben den Faktoren Reaktorgröße und -design sehen wir in erfolgreichen Insitu-Maßnahmen das größte Potenzial, weil sie die Erträge direkt beeinflussen. Wir freuen uns darauf, unseren geschätzten Kunden weiter zu unterstützen.“