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Elektronikproduktion | 09 Mai 2012

Universität Warschau forscht mit Aixtron CCS-Anlage

Die Universität Warschau in Polen hat im vierten Quartal 2011 eine 3x2-Zoll Close Coupled Showerhead- (CCS) Anlage von Aixtron erworben. Die MOCVD-Anlage ist für die Abscheidung von Galliumnitrid (GaN) vorgesehen und wird im zweiten Halbjahr 2012 ausgeliefert.
Die Universität wird die neue Technologie im Rahmen des Projekts „Physik: Ausgangspunkt für neue Technologien – Entwicklung einer modernen Forschungsinfrastruktur an der Fakultät für Physik der Universität Warschau“ einsetzen, das von der EU kofinanziert wird. Ein Serviceteam von Aixtron Europa wird die Installation und Inbetriebnahme in einem Reinraum im Institut für experimentelle Physik am Fachbereich Physik vornehmen.

„Aixtron liefert hervorragende Technologie in der Erforschung von Galliumnitrid“, kommentiert Professor Roman Stepniewski. „Die seit vielen Jahren weltweit anerkannte Expertise und der ausgezeichnete Service des Herstellers werden entscheidenden Anteil an der erfolgreichen Weiterentwicklung unserer Nitridtechnologie haben.“ Es existierten nur wenige Systeme, die sich optimal für die Abscheidung von Nitrid-Dünnfilmen eigneten und gleichzeitig den geforderten Leistungsumfang hätten wie die CCS von Aixtron: eine stabile Plattform, hohe Zuverlässigkeit, leichte Bedienbarkeit und homogene Prozesse. „Die Anlage ist für unser neues Forschungsvorhaben prädestiniert – wir freuen uns darauf, mit der Arbeit zu beginnen", so der Professor.

“Wir freuen uns sehr über die Bestellung der Uni Warschau", so Dr. Frank Schulte, Vice President Aixtron Europe. „Das Team um Professor Stepniewski genießt weltweit hohes Ansehen in der Entwicklung fortschrittlicher Halbleitermaterialien, insbesondere auf dem Gebiet der Materialabscheidung und durch seine Basisstudien zum Thema Nitride.“ Ich bin sicher, dass sie wie viele andere Forschungsgruppen schnell feststellen werden, dass die CCS nicht nur eine verlässliche Basis für homogene und skalierbare Prozesse, sondern auch die ideale zukunftssichere Lösung für ihre individuellen Anforderungen ist."

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