NTU Singapore erforscht mit Aixtron Equipment

Mit einer 2-Zoll Black Magic PECVD-Anlage von Aixtron entwickeln Wissenschaftler der Nanyang Technological University (NTU) Singapur Bauelemente auf Basis von CNT und Graphen zum Einsatz in der Hochfrequenzelektronik. Ein Serviceteam von Aixtron hatte die Anlage im Labor für Nanoelektronik im Fachbereich Elektrik/Elektrotechnik der Universität prozessbereit installiert und in Betrieb genommen. Im Fokus des neuen Projekts stehen neuartige Materialverbindungen: „Uns interessiert vor allem die Entwicklung und Erforschung innovativer Fertigungstechniken auf Basis von CNT, Graphen und andere Kohlenstoffmaterialien – etwa für die Verbindungstechnologie", erläutert Professor Beng Kang Tay. „Diese einzigartigen funktionellen Materialien bergen großes Potenzial im Bereich RF und Kommunikation in intelligenten Netzwerken. Um unserem Leitsatz der Zukunftsfähigkeit gerecht zu werden, bedurfte es einer gleichermaßen flexiblen und zuverlässigen wie wirtschaftlichen Anlage, die reproduzierbare Dünnfilme in Top-Qualität erzeugt." Die hohen Anforderungen würden von der Aixtron Anlage erfüllt und noch übertroffen. Das Projekt wird zurzeit von Professor Tay geleitet, der über langjährige Expertise in der Abscheidung von Dünnfilmen verfügt, speziell im Bereich der tetraedrischen amorphen Kohlenstoffschichten, der Nanokomposite und der Kohlenstoff-Nanoröhren.