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Elektronikproduktion | 01 Februar 2012

NTU Singapore erforscht mit Aixtron Equipment

NTU Singapur erforscht CNT-Materialien fĂŒr die Hochfrequenz-Elektronik mit Aixtron Black Magic-Anlage.
Mit einer 2-Zoll Black Magic PECVD-Anlage von Aixtron entwickeln Wissenschaftler der Nanyang Technological University (NTU) Singapur Bauelemente auf Basis von CNT und Graphen zum Einsatz in der Hochfrequenzelektronik. Ein Serviceteam von Aixtron hatte die Anlage im Labor fĂŒr Nanoelektronik im Fachbereich Elektrik/Elektrotechnik der UniversitĂ€t prozessbereit installiert und in Betrieb genommen. Im Fokus des neuen Projekts stehen neuartige Materialverbindungen: „Uns interessiert vor allem die Entwicklung und Erforschung innovativer Fertigungstechniken auf Basis von CNT, Graphen und andere Kohlenstoffmaterialien – etwa fĂŒr die Verbindungstechnologie", erlĂ€utert Professor Beng Kang Tay. „Diese einzigartigen funktionellen Materialien bergen großes Potenzial im Bereich RF und Kommunikation in intelligenten Netzwerken. Um unserem Leitsatz der ZukunftsfĂ€higkeit gerecht zu werden, bedurfte es einer gleichermaßen flexiblen und zuverlĂ€ssigen wie wirtschaftlichen Anlage, die reproduzierbare DĂŒnnfilme in Top-QualitĂ€t erzeugt." Die hohen Anforderungen wĂŒrden von der Aixtron Anlage erfĂŒllt und noch ĂŒbertroffen. Das Projekt wird zurzeit von Professor Tay geleitet, der ĂŒber langjĂ€hrige Expertise in der Abscheidung von DĂŒnnfilmen verfĂŒgt, speziell im Bereich der tetraedrischen amorphen Kohlenstoffschichten, der Nanokomposite und der Kohlenstoff-Nanoröhren.
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