INESC setzt auf Aixtron Maschinen

Das portugiesische Institut INESC Microsistemas e Nanotecnologias (INESC MN) in Lissabon hat eine weitere Aixtron Black Magic-Depositionsanlage in Betrieb genommen. Ein Serviceteam von Aixtron Europa hatte die Installation der neuen Anlage vorgenommen, die zur Erforschung von Kohlenstoff-Nanomaterialien eingesetzt wird. „Wir konzentrieren uns zurzeit auf die kontrollierte Herstellung von CNT und ähnlichen Nanostrukturen für elektronische Anwendungen", berichtet Dr. Sara Vieira, Leiterin der CNT-Forschungsgruppe am INESC MN. Inzwischen sei die Black Magic Anlage bei der täglichen Arbeit unverzichtbar. „Momentan prüfen wir vor allem den Einsatz von Nanoröhren als Feldemissionsquellen. Mit der Anlage sind wir in der Lage, geordnete Kohlenstoff-Nanoröhren mit den jeweils gewünschten Feldemissionseigenschaften herzustellen. Dank flexibler Prozesszeiten und plasmagestützter Prozesse ist auch die Herstellung ein-, doppel- und mehrwandiger Kohlenstoff-Nanoröhren möglich." Anlagendesign und Bauweise der Black Magic seien äußerst zweckmäßig. „Die Black Magic ist ergonomisch, leicht zu handhaben und liefert reproduzierbare Effekte. Außerdem – und das ist besonders wichtig – sind wir jetzt in der Lage, Graphen abzuscheiden, ein Material mit vielfältigem Potenzial für Anwendungen der Nanoelektronik", so Dr. Vieira. Neben der Herstellung hochwertiger Materialien für CNT-Bauelemente könne das Team nun auch neue Projekte mit in ähnlichen Bereichen tätigen Instituten anstoßen. Das privat geführte, gemeinnützige Forschungs- und Entwicklungsinstitut INESC MN gründete sich 2002 aus dem Fachbereich Solid State Technology am INESC. Es verfügt über einen Reinraum der Klasse 10/100 mit optischer und Elektronenstrahl-Lithographie zur Herstellung nanoskaliger Bauelemente. INESC MN erforscht und entwickelt Spitzentechnologien auf den strategischen Gebieten der Mikro- und Nanotechnologie, die darüber hinaus auch in elektronische, biologische und biomedizinische Bauteile einfließen.