Forepi bestellt Aixtron-Anlagen

Die taiwanesische Forepi Ltd. wird einen CRIUS II-XL-Reaktor in einer Konfiguration von 19x4 Zoll in Betrieb nehmen. Ursprünglich hatte Forepi im dritten Quartal 2011 eine CRIUS II-L-Anlage bestellt, diese jedoch unmittelbar nach der Markteinführung der neuen XL-Konfiguration gewandelt. Der neue Reaktor wird im vierten Quartal 2011 ausgeliefert. Mit der CRIUS II-XL sollen blaue LEDs auf Indium-Gallium-Nitrid (InGaN)-Basis in Massenproduktion hergestellt werden. Ein Aixtron Serviceteam wird die Anlage in Forepis moderner Produktionsstätte in Taiwan installieren und in Betrieb nehmen. „Der Erwerb der 4-Zoll-fähigen Showerhead-Anlage symbolisiert einen technologischen Meilenstein für uns", so Forepi-Präsident Dr. Fen-Ren Chien. „Wir hatten zunächst die CRIUS II-L-Anlage für unsere nächste Expansionsstufe in Betracht gezogen. Als dann kürzlich die XL-Version eingeführt wurde, waren wir von der 19x4-Zoll-Konfiguration sehr beeindruckt." Aixtron COO Dr. Bernd Schulte fügt hinzu: „Die CRIUS II-XL-Anlage bietet weltweit höchsten Durchsatz und maximale Produktivität. Damit haben wir den nächsten Entwicklungsschritt in unserer bewährten CRIUS-Serie vollzogen. Alle bestehenden Prozesse können äußerst effizient von der CRIUS II auf die CRIUS II-XL übertragen werden. Auch beim Wechsel auf die nächste Wafergröße muss lediglich der Suszeptor ausgetauscht werden – ohne weitere Anpassung von Hardware oder Prozessen. Für die Hersteller von InGaN-LEDs bedeutet das absolute Kostenkontrolle." Forepi wurde im November 1999 gegründet – ursprünglich als klassischer Hersteller von LED-Wafern und -Chips auf InGaN-Basis. Heute vertreibt das Unternehmen ein breites LED-Spektrum, darunter blaue und grüne InGaN-LEDs sowie UV-Hochleistungs-LEDs. Absatzmärkte sind neben Taiwan auch Süd-Korea, Hong Kong, die USA und China.