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Komponenten | 13 April 2011

AIXTRON verkauft erste 300 mm Graphen-Anlage an AIST

Das japanische National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST) hat die erste 300 mm Black Magic-Anlage für die Abscheidung von Graphen bestellt.
Graphen ist aufgrund seiner einzigartigen Eigenschaften ein vielversprechendes Kanalmaterial für die Herstellung von Mikroelektronik und Hochfrequenzanwendungen der nächsten Generation. Die im ersten Quartal 2011 bestellte Black Magic wird im dritten Quartal 2011 ausgeliefert und in einem Reinstraum in Tsukuba von AIXTRONs lokalem Serviceteam in Betrieb genommen. Das AIXTRON Black Magic Graphen-System erfüllt die äußerst anspruchsvollen Anforderungen der Projektgruppe `Synthese und Anwendungen von Graphen´. Diese ist Teil eines Sonderforschungsteams am Green Nanoelectronics Center (GNC). Das GNC widmet sich der Entwicklung und dem Einsatz von Kohlenstoff-Nanomaterialien – eines von drei zentralen Forschungszielen, die im April 2010 am Institut AIST definiert wurden. „Wir liefern die derzeit fortschrittlichste technologische Plattform für die Herstellung von Graphen", erklärt Dr. Ken Teo, Direktor des Nanoinstruments-Bereichs bei AIXTRON. „Es dürfte die weltweit erste kommerziell verfügbare und verkaufte 300 mm-Anlage sein. Die Black Magic zeichnet sich durch optimale Temperaturverteilung und ein technisch ausgereiftes Gaszuführungssystem aus, das präzise Ausgangsmaterialien liefert. Die Bestellung umfasst darüber hinaus ein ARGUS In-Situ-Pyrometer zur Messung der Oberflächentemperatur, ein Transfermodul zur automatischen Waferbestückung und eine Multiwafer-Ladestation für hohen Durchsatz." Das öffentliche Forschungsinstitut AIST unter der Leitung von Präsident Nomakuchi wird maßgeblich von der japanischen Regierung finanziert. Die Hauptstandorte befinden sich in Tsukuba und Tokio. Mehr als vierzig autonome Teams in ganz Japan betreiben in neun Forschungszentren und an weiteren Standorten modernste Forschung. Thomson Reuters stufte AIST unter die Top 10 der japanischen Forschungsinstitute ein (1998-2008).
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