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Elektronikproduktion | 05 Oktober 2010

Aixtron-Equipment geht nach Zürich

Die Eidgenössische Technische Hochschule (ETH) Zürich wird im neuen Forschungszentrum mit einer Aixtron 6-Zoll Black Magic PECVD-Anlage einwandige Kohlenstoff-Nanoröhren herstellen.
An der Gründung des innovativen Nanotechnologie-Zentrums in Rüschlikon, Schweiz, sind IBM Research als privates Unternehmen und die ETH Zürich als öffentliches Institut beteiligt. Aixtrons Europa-Serviceteam wird dort die neue Anlage im ersten Quartal 2011 in Betrieb nehmen.

Bei der Auswahl des Systems sei die Flexibilität entscheidend gewesen, weil unterschiedliche Forschungsgruppen der ETH und von IBM damit arbeiten, so Dr. Christofer Hierold, Professor für Mikro- und Nanosysteme, Abteilung Maschinenbau und Verfahrenstechnik der ETH Zürich. "Die Black Magic erfüllt diese und weitere Anforderungen. Mit dieser Anlage können wir unsere Forschung im Bereich der Nanomaterialien beginnen."

Das Forschungszentrum in Rüschlikon ist mit speziellen Reinräumen sowie störungsfreien Laboratorien ausgestattet, die gegen Außeneinwirkungen wie Vibrationen, Schall, elektromagnetische Felder und Temperaturschwankungen geschützt sind. Ziel der Wissenschaftler ist es, in neue Forschungsgebiete der Halbleitermaterialien und -Bauelemente vorzudringen.
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PECVD, Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition = plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung

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