Tekcore bestellt mehrere neue Aixtron G5-Anlagen

Die Bestellung wurde kurz nach der Einführung der neuen Anlagen-Generationen AIX G5 HT und CRIUS II in den Markt erteilt. In Aachen zeigte man sich erfreut über den Erfolg: Für beide neuen Anlagen-Generationen liegen bereits Bestellungen im größeren Rahmen vor, heisst es in einer Mitteilung. Basierend auf der bewährten Planetary Reactor-Technologie verfügt die AIX G5 HT über die zurzeit größte kommerziell verfügbare Waferkapazität von 56x2-, 14x4- und 8x6-Zoll. Dies und das neue innovative Reaktordesign sind die Erfolgsfaktoren, mit denen der Aachener Anlagenbauer seinen Kunden zu höchster Produktivität und ausgezeichneter Schichtqualität durch sehr hohe Depositionsraten – bei gleichzeitig hohen Prozessdrücken – verhilft. Das neue Produktionssystem ist voll automatisiert und punktet zudem mit einer weitreichenden Integration in die Produktionslinie. „Die neue AIX G5 HT Anlagen-Generation unterstreicht einmal mehr unsere Rolle als Technologieführer“, sagt Dr. Rainer Beccard, Vice President Marketing bei Aixtron. „Mit neuer Technologie und einem richtungsweisenden Reaktordesign ermöglicht die neue AIX G5 HT-Plattform unseren Kunden eine Steigerung ihrer Produktivität um mehr als hundert Prozent im Vergleich zu allen bisherigen MOCVD-Anlagen-Generationen." ----- MOCVD, Metal Organic Chemical Vapor Deposition = Metall-organische Gasphasenabscheidung HB-LEDs, High Brightness LEDs = Sehr helle LED-Leuchten