Carl Zeiss, SII koopieren

Carl Zeiss Nano Technology Systems (NTS) und die japanische SII NanoTechnology (SIINT), ein Tochterunternehmen von Seiko Instruments, arbeiten künftig bei Vertrieb, Service und Applikationsunterstützung für elektronen- und ionenstrahl-basierenden Abbildungs- und Analysesystemen zusammen. Darüber hinaus sollen gemeinsam auch Lösungen für die Nanotechnologie entwickelt werden, speziell zur Prozesskontrolle in der Halbleiterfertigung.