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Carl Zeiss, SII koopieren

Carl Zeiss NTS und SII NanoTechnology kooperieren bei Nanotechnologie.

29. März 2006, 08:31
Carl Zeiss Nano Technology Systems (NTS) und die japanische SII NanoTechnology (SIINT), ein Tochterunternehmen von Seiko Instruments, arbeiten künftig bei Vertrieb, Service und Applikationsunterstützung für elektronen- und ionenstrahl-basierenden Abbildungs- und Analysesystemen zusammen. Darüber hinaus sollen gemeinsam auch Lösungen für die Nanotechnologie entwickelt werden, speziell zur Prozesskontrolle in der Halbleiterfertigung.

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