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Elektronikproduktion | 04 Mai 2009

Georgia Institute bestellt Aixtron Black Magic Plasma-CVD-Anlage

Das Georgia Institute of Technology (GaTech) mit Sitz in Atlanta, Georgia, hat im ersten Quartal 2009 eine Black Magic PECVD-Anlage in einer 4 Zoll-Konfiguration zur Herstellung von Kohlenstoffnanoröhren (CNT) bestellt.
Die Anlage wird im zweiten Quartal 2009 ausgeliefert und kombiniert thermische mit plasmagestützter Gasphasenabscheidung. Die Forschungsgruppe NEST (Nanoengineered Systems And Transport) wird die Anlage zur Erforschung von CNT zur Wärmeabfuhr für Computerprozessoren und für Elektroden in elektrochemischen Energieumwandlungssystemen einsetzen. Bei diesen Anwendungen sind die exzellenten thermischen, elektrischen und mechanischen Eigenschaften der CNT von großem Vorteil.

Die Aixtron-Systeme basieren auf dem Konzept der thermischen CVD mit hoher Heizrate und einer Plasmatechnologie, die sich seit 2005 in der Praxis bewährt hat und die Herstellung von unterschiedlichsten CNT-Typen ermöglicht. Dazu gehören Niedertemperatur-, Multiwall-, Singlewall- und sogenannte "Supergrowth“ Kohlenstoffnanoröhren. Als eine der ersten wird die Aixtron-Anlage im 30.000 qm großen Reinraum des Marcus Nanotechnology Building an der Georgia Tech aufgebaut und dort von verschiedenen Forschungsteams genutzt.

Professor Baratunde Cola, Fachbereichsmitglied und Teilnehmer am Forschungsprogramm, berichtet: „Uns gefällt die Black Magic-Anlage, da sie einfach zu bedienen ist und bewährte Technologie enthält, die Labor- und Industriestandards erfüllt. Diese Eigenschaften helfen uns, unsere Erkenntnisse aus der CNT-Wachstumsforschung auf die kommerzielle Produktion anzuwenden.“
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PECVD Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition = Plasmagestützte Gasphasenabscheidung

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