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Aixtron und Semileds erzielen erste Erfolge bei ultrahellen blauen LEDs auf 6-Zoll-Wafern
In Zusammenarbeit mit Aixtron hat Semileds erfolgreich blaue LED-Chips auf Basis von Galliumnitrid (GaN) auf 6-Zoll-Saphirwafern hergestellt. Die guten optischen Ergebnisse sind in einem weitgehend produktionskompatiblen Prozess erzielt worden, so dass das Unternehmen schon bald von der Produktion auf dieser Wafergröße profitieren wird.
Der Produktionsprozess auf 6-Zoll-Wafern beruht auf der MOCVD*-Technologie und durchläuft weitere Fabrikationsschritte bis hin zum finalen Test. In diesem Fall wurde auf einer AIX 2800G4 HT MOCVD-Anlage in 6x6 Zoll-Konfiguration die LED-Struktur auf einem 1000 µm dicken 6-Zoll-Saphirsubstrat abgeschieden.
Dr. Chuong Tran, Geschäftsführer von Semileds, kommentiert die Ergebnisse: „Die Helligkeit und Effizienz sind vielversprechend, wobei sich die Vorgehensweise vom bereits etablierten 4-Zoll-Saphirprozess kaum unterscheidet. Wenn wir von der Homogenität der 18.000 1x1 mm großen, vertikalen LEDs (auf Metalllegierungschips) ausgehen, die aus einem einzigen Wafer gewonnen wurden, sehen wir ganz klar die Vorteile: Ein wichtiger Grund für die deutlich höhere Ausbeute im Prozess mit größeren Wafern liegt im Randbereich, der – im Vergleich zu neun 2-Zoll-Wafern – beträchtlich verkleinert werden konnte.“
Dr. Christian Geng, Aixtrons General Manager Greater China, ergänzt: „Der Prozess ist von A bis Z ein voller Erfolg. Ein Upgrade auf 6x6 Zoll bei einer vorhandenen AIX 2800G4 HT-Anlage in einer 42x2 Zoll-Konfiguration erfordert lediglich den Austausch der so genannten Satellitenscheiben. Daher gehe ich davon aus, dass viele unserer Kunden auf 6-Zoll wechseln werden, sobald der Preis für 6-Zoll-Substrate konkurrenzfähiger geworden ist.“
MOCVD, Metal Organic Chemical Vapor Deposition = Metall-organische Gasphasenabscheidung
