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Elektronikproduktion | 19 März 2009

Aqualite erwirbt drei Aixtron MOCVD-Anlagen für die Produktion von LED-Chips

Die Firma Aqualite in Wuhan, China hat von der Aixtron AG drei Close Coupled Showerhead (CCS) CRIUS MOCVD-Anlagen für die Produktion von LEDs auf Galliumnitridbasis (GaN) erhalten.
Die drei CRIUS-Anlagen, die jeweils über eine 31x2 Zoll Kapazität verfügen, wurden bereits im dritten bzw. vierten Quartal 2008 ausgeliefert. Aqualite plant, diese Anlagen für die Massenproduktion von blauen, grünen und weißen LED-Chips einzusetzen.

James Dong, CEO von Aqualite Co. Ltd., merkt an: „Wir haben uns eingehend über die am Markt erhältlichen Produkte informiert, um genau die Anlage zu finden, die unseren Anforderungen an die LED-Massenproduktion am besten entspricht.

Aixtrons MOCVD-Anlagen waren in vielerlei Hinsicht die perfekte Wahl. Wichtig waren uns insbesondere die Prozessflexibilität, die Reproduzierbarkeit sowie die Homogenität von Wafer zu Wafer und der einzelnen Durchläufe. Wir freuen uns auf die weiterhin gute Zusammenarbeit mit dem Aixtron-Team vor Ort, das uns immer hilfreich zu Seite steht.“
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MOCVD, Metal Organic Chemical Vapor Deposition = Metall-organische Gasphasenabscheidung

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