Das MEMFIS Projekt hat es sich zum Ziel gesetzt, ein ultra-kleines FT-IR-Spektrometer zu entwickeln, dass aus hochintegrierten mikro-opto-mechanischen (MOEMS) Elementen aufgebaut wird. RHe Microsystems übernimmt in diesem Projekt das Packaging der MOEMS.

In enger Zusammenarbeit mit dem Dresdner Fraunhoferinstitut für Photonische Mikrosysteme (IPMS), wird das Konzept für die Aufbau- und Verbindungstechnik entwickelt. Besondere Herausforderung ist dabei das notwendige langzeitstabile Vakuum das im Gehäuse für eine ordnungsgemäße Funktion der MOEMS benötigt wird.

Über MEMFIS: MEMFIS steht für „Ultrasmall MEMS FT-IR Spectrometer“. Es ist ein gemeinschaftliches Projekt, welches durch die Europäische Kommission unter dem Framework Programme 7 co-finanziert wird. Das Projekt hat eine Gesamtlaufzeit von drei Jahren (1. September 2008 bis 31. August 2011). Die MEMFIS Kooperation besteht aus neun – auf dem Gebiet der optischen Subkomponenten und Analysatoren – Unternehmen und Forschungsinstituten.

MEMFIS Partner: Technikon Forschungs- und Planungsgesellschaft mbH (Österreich), Bruker Optik GmbH (Deutschland), CTR Carinthian Tech Research AG (Österreich), Fraunhofer IPMS (Deutschland), KOC University (Türkei), RHE Microsystems (Deutschland), SOPRALAB (Frankreich), Vigo System S.A. (Polen), HiperScan GmbH (Deutschland)