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Elektronikproduktion | 02 Februar 2009

GEMINI Rasterelektronenmikroskop an TU Dresden installiert

Carl Zeiss SMT hat das 1.500ste Rasterelektronenmikroskop vom Typ GEMINI an das „Center for nondestructive nano evaluation – nanoeva“ in Dresden übergeben.
nanoeva ist eine Gemeinschaftseinrichtung des Instituts für Aufbau- und Verbindungstechnik der Elektronik (IAVT) und des Fraunhofer Instituts für zerstörungsfreie Prüfverfahren (IZFP–D) mit seinem Dresdner Institutsteil. Wesentliches Einsatzgebiet des Elektronenmikroskops bei nanoeva werden Forschungen für die Aufbau- und Verbindungstechnik von elektronischen und mikrotechnischen Modulen für die Systemintegration sein. Der dabei auftretende Materialmix von Silizium bis hin zu Kunststoffen erfordert angepasste Untersuchungsmethoden.

Der Leiter des Produktmanagements Elektronenmikroskopie bei Carl Zeiss, Dr. Thomas Albrecht, hebt hervor: „1.500 Rasterelektronenmikroskope vom Typ GEMINI spiegeln nicht nur das hohe Vertrauen der Kunden in diese Technologie und deren Nutzen, sondern bieten auch die Chance, sich mit zahlreichen Anwendern weltweit zu vernetzen und Erfahrungen für eine optimale Bedienung auszutauschen. Eine Aufgabe, in die wir natürlich auch die langjährige Expertise unserer Applikationsspezialisten einbringen. Wir stehen für den Anspruch, der Probe möglichst viele Informationen zu entlocken.“

Prof. Klaus-Jürgen Wolter vom IAVT an der TU Dresden erläutert: „Spitzenforschung für die Mikro- und Nanotechnologien benötigt hochleistungsfähige Werkzeuge zur Analyse und Visualisierung von Proben. Das GEMINI Rasterelektronenmikroskop von Carl Zeiss ergänzt die Reihe unserer Untersuchungswerkzeuge ideal. Sowohl für eigene Arbeiten als auch für Kundenaufträge können wir jetzt aus dem sprichwörtlich Vollen schöpfen. Die Brücke von Forschung und Lehre zu industrieller Entwicklung ist damit noch breiter und leistungsfähiger geworden.“

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