Insgesamt gab es 38 Anträge aus ganz Deutschland, davon drei aus Sachsen. Der Wettbewerb ist mit insgesamt €200 Millionen dotiert. Am 11. März 2008 wurde die vom Silicon Saxony eingereichte Skizze "Energy Efficiency Innovations from Silicon Saxony" als eine von 12 siegreichen Projektskizzen aus der ersten Auswahlrunde des BMBF Spitzencluster-Wettbewerbs ausgewählt. Im Juni 2008 wurde seitens der Antragsteller eine detaillierte Projektstrategie ausgearbeitet und eingereicht. Maximal fünf Cluster werden dann am 2. September 2008 als Gewinner ausgewählt.

Ziel des Spitzencluster-Antrags Cool Silicon ist es, die technologischen Grundlagen zu schaffen, um die Energieeffizienz im Bereich der Informations- und Kommunikationstechnologie (IKT) massiv zu steigern.

Die Partner des Cool Silicon Clusters sind neben RHe Microsystems, 16 Lehrstuehle an drei technische Hochschulen (TU und HTW Dresden, TU Chemnitz), neun Forschungsinstitute, Großunternehmen wie AMD, Infineon, Qimonda und X-FAB, sowie eine Vielzahl kleiner und mittelständischer Unternehmen.