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AIXTRON liefert Anlage für LED-Produktion nach Taiwan
Die AIXTRON AG hat die erste Bestellung für die neue AIX 2800G4-R MOCVD-Anlage von Arima Optoelectronics in Taiwan erhalten. Das System wird in Arimas modernem Reinraum in Taoyuan, Taiwan installiert.
Dort wird es für die Produktion roter, orangefarbener und gelber LEDs, die auf AlGaInP-Materialien basieren, qualifiziert und verwendet werden. Der neueste Anlagentyp AIX 2800G4-R ist für einen höchstmöglichen Durchsatz bei der Massenproduktion von Bauelementen auf AlGaInP-Basis ausgelegt. Das System ist mit einem Roboter ausgestattet, der die Beschichtungskammer mit 60x2 Zoll- oder 15x4 Zoll-Wafern automatisch be- und entlädt, um den größten Durchsatz bei geringsten Kosten pro Wafer zu erzielen. Zusätzlich weist diese Anlage weitere innovative Neuerungen auf, um den Durchsatz und die Betriebsdauer zu erhöhen. Damit wird sie einen neuen Standard für die AlGaInP-LED-Produktion setzen.
