Die Partner arbeiten gemeinsam an neuen Analyse- und Charakterisierungsmethoden, die für die Entwicklung der nächsten Chipgenerationen erforderlich sind. Das stärkt die Kompetenz des Mikroelektronikstandortes Dresden insbesondere in den Bereichen Halbleiteranalytik und Metrologie.

Wie Ministerialdirektor Dr. Wolf-Dieter Lukas, Leiter der BMBF-Abteilung „Schlüsseltechnologien - Forschung für Innovationen" heute mitteilte, ist der strategische Auf- und Ausbau von Kompetenz- zentren der Mikroelektronik ein wichtiges Ziel des BMBF-Programms IKT2020. „Nur durch eine gezielte Schwerpunktsetzung in der Forschungs- förderung wird es uns gelingen, Dresdens führende Rolle in dem Hightech-Bereich der Chipproduktion zu erhalten und durch innovative Ansätze, wie hier in der Nanoanalytik, weiter auszubauen."

Das neu gegründete ‚Carl Zeiss Innovation Center Dresden’ ist ein wichtiger Baustein innerhalb des Verbundprojektes „Nanoanalytik". Dort werden höchstauflösende Partikelstrahlsysteme instal- liert, die anstelle von Licht Elektronen- und Ionen- strahlen verwenden. Diese Systeme ermöglichen die Abbildung, Analyse und Bearbeitung von Proben bis zur Ebene einzelner Atome. Somit tragen sie entscheidend dazu bei, dass drei- dimensionale Halbleiterstrukturen charakterisiert sowie neue Materialien für die Chipherstellung entwickelt werden können. „Mit unserem Innovation Center engagiert sich Carl Zeiss SMT in Europas führendem Mikroelektronikcluster, dem ‚Silicon Saxony’. Dadurch wird dieses nicht nur in seiner Funktion als Forschungsstandort gestärkt, sondern auch die Weiterentwicklung der dort ansässigen Halbleiterindustrie gefördert", erläutert Dr. Dirk Stenkamp, Vorstandsmitglied von Carl Zeiss SMT.

Neben den Verbundpartnern AMD und Qimonda steht das ‚Carl Zeiss Innovation Center Dresden’ allen interessierten Firmen und Instituten im Raum Dresden zur Verfügung. Insbesondere können alle Partner des „Silicon Saxony", wie beispielsweise die TU Dresden oder das Fraunhofer-Center Nanoelektronische Technologien CNT, Anwendungsfragen der Nanotechnologie lösen.