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Siltronic und Qimonda starten Kooperation für Grundlagenforschung

Siltronic und Qimonda Dresden starten eine Kooperation im Rahmen des Verbundprojektes " Silicium-basierte Grundmaterialien für 3- dimensionale Transistoren" (SIGMADT).

Es wird vom Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) mit 6,5 Millionen Euro gefördert. Die Partner erforschen dabei gemeinsam die Grundlagen für die übernächste Generation integrierter elektronischer Bauelemente, beispielsweise für Anwendungen im Bereich der DRAM-Datenspeicher. Bei zukunftsweisenden Siliciumbauelementen zeichnet sich ein Übergang von 2-dimensionalen zu 3-dimensionalen Transistoren ab. Dadurch soll es möglich werden, zukünftigen Anforderungen (z. B. geringerer Stromverbrauch und höhere Leistungsfähigkeit) an neue Bauelemente bei zunehmend kleinerer Strukturgröße gerecht zu werden. Ziel der gemeinsamen Grundlagenforschung ist es, die Eigenschaften des Siliciumwafers auf die Anforderungen zukünftiger 3-dimensionale Transistoren optimal abzustimmen. Darüber hinaus werden neue Prozesse zur Herstellung zukünftiger Waferscheiben und Transistoren erarbeitet, da die 3-D-Technologie bisher ungekannte Anforderungen, beispielsweise an die Ebenheit der Wafer, stellt.

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